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雙電測數(shù)字式四探針測試儀/雙電測四探針檢測儀

更新時間:2014-05-28點擊次數(shù):1709

雙電測數(shù)字式四探針測試儀/雙電測四探針檢測儀 型號:DP-2263

概述
DP-2263型雙電測數(shù)字式四探針測試儀是運用直線或方形四探針雙位測-改形范德堡測量方法測試電阻率/方阻的多用途綜合測量儀器。該儀器符合單晶硅物理測試方法家標準并參考美 A.S.T.M 標準。利用電流探針、電壓探針的變換,行兩次電測量,對數(shù)據(jù)行雙電測分析,自動消除樣品幾何尺寸、邊界效應以及探針不等距和機械游移等因素對測量結果的影響,它與單電測直線或方形四探針相比,大大提度,特別是適用于斜置式四探針對于微區(qū)的測試。
儀器成套組成:由主機、選配的四探針探頭、測試臺以及PC軟件等分組成。
主機主要由恒流源、分辨率ADC、嵌入式單片機系統(tǒng)組成,USB通訊接口。儀器主機所有參數(shù)設定、能轉換采用數(shù)字化鍵盤和數(shù)碼開關輸入;具有零位、滿度自校能;測試能可自動/手動方式;儀器操作可由配套軟件在PC機上操作成,也可脫PC機由四探針儀器面板上立操作成。測試結果數(shù)據(jù)由主機數(shù)碼管直接顯示,也可連機由軟件界面同步顯示、分析、保存和打??!
探頭選配:根據(jù)不同材料特性需要,探頭可有多款選配。有耐磨碳化鎢探針探頭,以測試硅類半導體、金屬、導電塑料類等硬質(zhì)材料的電阻率/方阻;也有形鍍金銅合金探針探頭,可測柔性材料導電薄膜、金屬涂層或薄膜、陶瓷或玻璃等基底上導電膜(ITO膜)或納米涂層等半導體材料的電阻率/方阻。換上四端子測試夾具,還可對電阻器體電阻、金屬導體的低、中值電阻以及開關類接觸電阻行測量。
測試臺選配:般四探針法測試電阻率/方阻配DP-A或DP-B或DP-C或DP-F型測試臺。
詳見《四探針儀器、探頭和測試臺的特點與選型參考》
儀器具有測量度、靈敏度、穩(wěn)定性好、化程度、測量簡便、結構緊湊、使用方便等特點。
儀器適用于半導體材料廠器件廠、科研單位、等院校對導體、半導體、類半導體材料的導電性能的測試,特別是適用于斜置式四探針對于微區(qū)的測試。
三、基本參數(shù)
3.1  測量范圍
電阻率:1×10-4~2×105 Ω-cm,分辨率:1×10-5~1×102 Ω-cm
方  阻:5×10-4~1×106 Ω/□,分辨率:5×10-5~1×102 Ω/□
電  阻:1×10-5~2×105 Ω   ,分辨率:1×10-6~1×102 Ω
3.2  材料尺寸(由選配測試臺決定和測試方式?jīng)Q定)
直    徑:DP-A圓測試臺直接測試方式 Φ15~130mm,手持方式不限
DP-B/C/F方測試臺直接測試方式180mm×180mm,手持方式不限.
長()度:測試臺直接測試方式 H≤100mm,    手持方式不限.
測量方位: 軸向、徑向均可

 量程劃分及誤差等級

 

滿度顯示

200.0

20.00

2.000

200.0

20.00

2.000

200.0

20.00

常規(guī)量程

kΩ-cm/□

kΩ-cm/□

Ω-cm/□

mΩ-cm/□

基本誤差

±2%FSB

±4LSB

±1.5%FSB

±4LSB

±0.5%FSB±2LSB

±1.0%FSB

±4LSB

 

四探針探頭(選配其或加配)
(1)碳化鎢探針:Φ0.5mm,直線探針間距1.0mm,探針壓力: 0~2kg 可調(diào)
(2)薄膜方阻探針:Φ0.7mm,直線或方形探針間距2.0mm,探針壓力: 0~0.6kg 可調(diào)
3.6 電源
輸入: AC 220V±10% ,50Hz   耗:<20W
3.7 外形尺寸:
主機  220mm(長)×245 mm(寬)×100mm()

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